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        前端預熱滑軌式PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD
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        前端預熱滑軌式PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD

        設備型號:BTF-1200C-II-SL-PECVD 設備簡介:我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD),系統可以實現連續滑動溫區,連續可控制溫度及Plasma強度。PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:①電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。②通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單。
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        產品參數

        前端預熱器

        使用溫度

        400℃

        爐膛材料

        氧化鋁、高溫纖維制品

        熱電偶

        K型熱電偶

        控溫精度

        ±1℃

        控溫方式

        30段可編程控溫

        PID參數自整定

        操作界面為7’’工控電腦,內置PLC控制程序

        可將溫控系統、滑軌爐滑動(時間和距離)設定為程序控制

        加熱長度

        100mm

        加熱元件

        電阻絲

        加熱系統

        最高溫度

        1200℃

        使用溫度

        ≤1100℃

        爐膛有效尺寸

        Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需求定制)

        爐膛材料

        氧化鋁、高溫纖維制品

        熱電偶

        K型

        控溫精度

        ±1℃

        控溫方式

        30段可編程控溫

        PID參數自整定

        操作界面為7/10寸工控電腦,內置PLC控制程序

        加熱區長度

        440mm

        恒溫區長度

        200mm

        加熱元件

        電阻絲

        供電電源

        單相,220V  50Hz

        PE系統

        功率輸出范圍

        0W~500W

        最大反射功率

        100W

        射頻輸出接口

        50 Ω, N-type, female

        功率穩定度

        ≤5W

        諧波分量

        ≤-50dbc

        供電電壓

        單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

        整機效率

        ≥70%

        功率因素

        ≥90%

        冷卻方式

        強制風冷

        三路質子流量控制系統

        連接頭類型

        雙卡套不銹鋼接頭

        標準量程(N2)

        50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

        準確度

        ±1.5%F.S

        線性

        ±1%F.S

        重復精度

        ±0.2%F.S

        響應時間

        氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

        工作壓差范圍

        0.1~0.5 MPa

        最大壓力

        3MPa

        接口

        Φ6,1/4''

        顯示

        4位數字顯示

        工作環境溫度

        5~45高純氣體

        壓力真空表

        -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

        截止閥

        Φ6

        內外雙拋不銹鋼管

        Φ6

        低真空機組

        空氣相對濕度

        ≤85%

        工作環境

        5℃~40℃

        工作電壓

        220V±10%  50~60HZ

        功率

        1KW

        抽氣速率

        10m³/h

        極限真空

        5X10-1Pa

        工作壓力范圍

        1.01325X105~1.33X10-2Pa

        耐壓值

        0.03MPa

        容油量

        1.1L

        進氣口口徑

        KF25

        排氣口口徑

        KF25

        噪音

        50dB

        連接方式

        采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

        未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
        暫未實現,敬請期待
        暫未實現,敬請期待
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